瑞士VAT真空阀59024-GE01-0003

产品简介

瑞士VAT真空阀59024-GE01-0003
型号解析（VAT命名规则）
代码段含义
59024系列：高真空角阀
GE01法兰类型：ISO-KF40
0003配置代码：带气动执行器

更新时间：2026-03-02

厂商性质：经销商

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瑞士VAT

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详细介绍

品牌	其他品牌	应用领域	化工,能源,汽车及零部件,电气,综合

瑞士VAT真空阀59024-GE01-0003

1. 型号解析（VAT命名规则）

代码段	含义
59024	系列：高真空角阀
GE01	法兰类型：ISO-KF40
0003	配置代码：带气动执行器

2. 核心参数

参数	规格
真空范围	10⁻⁶ ~ 1000 mbar
泄漏率	≤1×10⁻⁹ mbar·L/s（氦检）
法兰标准	ISO-KF40（DN40）
阀体材质	不锈钢316L（EP抛光）
密封材料	氟橡胶（FKM）/可选全金属密封
驱动方式	气动（工作压力4~6 bar）
响应时间	≤0.5秒（开/关）
温度范围	-20℃~150℃（标准型）

3. 结构特点

超高真空设计：

金属波纹管密封（零泄漏）
阀板采用锥面密封（10⁻⁹ mbar级密封）

气动执行器：

双作用气缸（需配电磁阀控制）
带机械位置指示器

4. 典型应用

半导体设备：

晶圆传输腔体隔离
CVD/PVD工艺腔

科研装置：

同步辐射光束线
粒子加速器真空系统

5. 安装要求

法兰安装：

扭矩限制：10 Nm（ISO-KF40卡箍）
需使用无氧铜密封圈（P/N: VAT-CU40）

气路连接：

驱动气口：G1/8"（建议使用氩气吹扫）

6. 电气接口（需配电磁阀）

信号	要求
开阀信号	24V DC（驱动电磁阀）
关阀信号	弹簧复位（断电自动关阀）

7. 维护要点

项目	周期	操作
密封圈更换	2年或10⁶次循环	需专用夹具拆卸
波纹管检查	1年	氦质谱仪检测
驱动气缸润滑	6个月	使用PFE真空脂

8. 替代型号对比

品牌/型号	差异点
VAT 59024-GE01-0004	电动执行器版
Pfeiffer VAT 58500	直通阀，流量更大
NorCal UHV-40	价格低20%，泄漏率略高

该型号标准交货期为8-12周。如需超高温度版（300℃）或无磁版本，需额外增加6周定制周期。建议配套使用VAT52X系列电磁阀组实现自动控制。

瑞士VAT真空阀59024-GE01-0003

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